�ȉ��A�����i�h�̗��j�ł��B�����ŁAQ�i����j�AA�i�����j�AC�i�R�����g�j�ł��B
4/24����r�C���s���Ă���r�C�Ȑ��̑��茋�ʂƁA4/27��4/28�ɍs��ꂽ�Q��̃r���h�A�b�v�������ʂ��w�^�_�x�ʼn�͂��s�����B���ꂼ����K�X���o���x��Ɨ��Ɍv�Z���A��r���s�����B
��L�t�@�C���i�r�C�Ȑ��j�Ɏ������悤�ɁA�\���ɔr�C�̐i�̈�̔r�C�Ȑ����ȉ��̎��Ńt�B�b�g�����B
p = po/t+ pu, pressure in Pa and t in sec
�����āA po/t=Q/S�A�����ŁAQ�̓K�X���o���x ( L Pa/s )�ŁAS�͎����r�C���x�iL/s)�ł���B �r�C�̏����ł́A�K�X�͕����\�ʂ����o����A�r�C����(t)�ɋt��Ⴗ��̂ŁAQ = Qo/t �ƂȂ�Apo=Qo/S = 30�AQo=30 S�A���������āAQ=30S/t�ƂȂ�B�܂��A�r�C���B�^��x��pu=1.7 x 10-4Pa�ƂȂ����B
�Q���build up������4/27��4/28�ɍs��ꂽ�B�r�C�J�n����̌o�ߎ��� t �́A���ꂼ��A2.4 x 105�b��3.2 x 105�b�ł������B�i�ŏI��build up������4/30�ɍs��ꂽ�B�j��L�t�@�C���ibuild up�����j�Ɏ������悤�ɁA�ȉ��̎��Ńt�B�b�g�����B
p = at +b
����ڂł́Aa=5.5 x 10-4 Pa/s , t= 2.4 x 105s�ł���A
����ڂł́Aa=3.4 x 10-4 Pa/s, t= 3.3 x 105s�ł������B�@
�K�X���o���x��Q��build up�������ʂ�a�ɔ�Ⴕ�AQ = aV�A������V�͔r�C�����S�e�� ( L )�ł���B
���̂悤�ɁAQ=30S/t=aV�̊W�����AV/S = 30/(at)�ƂȂ�A
����ڂł́AV/S=0.23�ƂȂ�A����ڂł́AV/S=0.27�ƂȂ�BV/S�͔r�C���Ԃɂ�炸�R���X�^���g�ł���̂ŁA���ς����ƁAV/S =0.25�ƂȂ�B
����build up�������ʂƔr�C�Ȑ���consistent�ł���ƌ��_�ł���B
SUS���`�F���o�[�̓��a��102mm�A����490mm�ŁA�e�ʂ�4���b�g���A���ʐς�0.17m2�ł���B �܂��A�g�p���Ă���|���v�́A�e�����p�� Oil Free Scroll Vacuum pump ISP-90, 90 L/min (1.5L/s), 50Hz (ANEST IWATA co.)�A��|���v�Ƃ��āACompound Molecular Pump TG70FCAB 70 L/s ( N2) ( OSAKA VACUUM co. )�ł���B���������āAV > 4L�ŁAS < 70L/s �ł���B
�z�ǂȂǂ��܂߂��S�e�ʂ�V=10L�Ƃ���ƁA�����r�C���x��S=40L/s�ƕ]�����邱�Ƃ��ł���B�@���̂Ƃ��A����ڂ�build up�������ł̃K�X���o���x��Q=3.4 x 10-3L Pa/s�ƂȂ�B
-120���̍P���������삷���ċC�ɂȂ�Ⓚ�@����̓d���m�C�Y�̎�������Ђ̋��͂čs�����B�Ⓚ�@�̓c�C���o�[�h���̃X�^�[�����O�Ⓚ�@�iSC-UE15�j��24V��switching�d���ƃR���g���[���[���t�����Ă���B�G���N�g���j�N�X�͐��삵��ASIC�`�b�v�iPre-amp, shaping amp�j�ł���B
���ʂ͏�L�̃t�@�C���Ɏ�����Ă���B�Ⓚ�@�Ɠd���Ƃ̃A�[�X����������Ǝ�邱�Ƃ��K�v�ł��邱�ƁA10usec���Ƃ�switching noise�������ł��邱�Ɠ����킩�����B
����ɁAA250/P250�̃v���A���v�V�X�e���ł��e�X�g�������B �Ⓚ�@�V�X�e���͘A�x������邱�ƂɂȂ����B
�ȏ�B